ΨとΔから薄膜解析ができる原理については詳述しましたが，どうやってΨとΔを求めるのか偏光解析装置自体の原理について疑問をもたれている方も多いと思います。

当研究室では，エリプソメーターを製作し利用しております。動作原理について，鵜飼氏の卒論を抜粋して掲載します。(H18.5)