第１回 情報機械と超微細加工
自己紹介。本学、本学科志望動機。
まず、「機械」として思いつくものをリストアップ。それを、○現在可搬であるもの、△現在は違うがそうなったらいいと思うもの、×だめなものに分類。同じものについて、３０年前はどうだったか考える。そして、精密部品をつくる技術が、それらにどのように寄与しているか考える。小型、軽量、高機能。人間は小型軽量化したいという欲求をもっており、それに答えるのが工学であることを教える。
次に、板（金属板、ガラス板）などに１０ミリの穴加工をする方法について、知っているものを上げさせる。１ミリはどうか、０．１ミリはどうか。。。 現在の半導体が０．２μmの加工をしていることを示す。
写真の縮小技術と転写露光によってフォトファブリケーション・フォトリソグラフィ加工プロセスを概説する。最後に翌週の実験の概要と、原版作製の宿題。
第２回 乾板作製
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コニカハイリゾプレート（ハイプレシジョンプレート）を用いた、フォトマスク（乾板）の作製。
１）各自準備してきた原画をOHPシートにコピーする。縮小コピーしてもよい。
２）密着露光。露光２０秒、現像５分、停止３０秒、定着１０分、流水。現像液は指定のもの。
作製したフォトマスク（乾板）
宿題：SI単位、誤差の伝播法則、両対数プロット、最小二乗法
A4１枚にまとめ、各自説明する。１０分間。
第３回 真空について
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手動真空ポンプによる吸引力の発生とペットボトルの収縮。
ペットボトル収縮実験
ロータリーポンプのつくる真空（減圧）下での、メタノールの沸騰。装置は、真空容器＝試薬ビン、シール＝NW16センターリング＆Oリング（カップリングはなし）→アルカテルRPへ。
圧力の発生要因と沸騰現象についての議論
減圧下での蒸発・揮発現象と、蒸着技術の概要
前回宿題の発表と補足講義
レポート課題 ゼミの実験、講義内容、それに関連する内容のうち各自興味をもったことについてA４で２枚にまとめる＋感想提言
講義風景