装置ギャラリー

ここで示す半導体デバイス作製のための装置はすべて産総研の所有物であるため、説明は控えます。雰囲気だけでも、つかんで頂ければと思います。なお現在、SiCデバイスや集積回路の作製は専門スタッフに依頼し、我々はマスク設計と特性評価に専念しています（一部の大学院生はダイヤモンドデバイスの作製を担当する予定であり、クリーンルームでの作業が必要となります）。