科研費:
[1] 特別研究員奨励費(DC2) 2013~2014年度 代表者
イオンビーム照射による異常3次元配向構造をもつウルツ鉱薄膜の創製
[2] 基盤研究(B) 2017~2019年度 分担者
異種材料接合による縦型リーキー弾性表面波の高結合化と次世代高周波フィルタへの応用
[3] 研究活動スタート支援 2017~2018年度 代表者
巨大圧電性希土類AlN膜の配向制御と次世代高周波弾性表面波フィルタへの応用
[4] 若手研究 2019~2021年度 代表者
他元素添加AlN膜/層構造基板による縦型漏洩SAWの高性能化と高周波フィルタ応用
[5] 基盤研究(B) 2019~2021年度 分担者
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
[6] 基盤研究(B) 2020~2022年度 分担者
異種材料接合を用いた弾性表面波高調波強勢励振と次世代超高周波フィルタへの応用
[7] 若手研究 2022~2024年度 代表者
分極反転構造巨大圧電性他元素ドープAlN薄膜の創成と高周波弾性波フィルタへの応用
[8]基盤研究(B) 2023~2025年度 分担者
周期的空隙を有する接合構造による擬似板波の励振と高周波・広帯域フィルタへの応用
民間助成(すべて代表者):
[1] 公益財団法人 池谷科学技術振興財団 2018年度
高圧電性c軸平行ScAlN膜/圧電単結晶基板を用いた縦型リーキ弾性表面波デバイスの開発
[2] 公益財団法人 日本板硝子材料工学助成会 2018~2020年度
高周波数帯次世代移動通信に向けたc軸平行ScAlN薄膜/単結晶LiNbO3板構造をもつ縦型漏洩SAWフィルタの開発
[3] 公益財団法人 電気通信普及財団 2019年度
次世代通信システムに向けた「圧電層/高音速層/基板」からなるSAWフィルタの開発
[4] 公益信託 小野音響学研究助成基金 2019年度
他元素ドープAIN圧電膜および高音速層の物理定数算出とその膜を用いた層構造基板縦型漏洩弾性表面波デバイスの開発
{5] 公益財団法人 稲盛財団 2019~2020年度
圧電性希土類添加AlN膜を用いた分極反転バイモルフ型振動発電素子の開拓
[6] 公益財団法人 カシオ科学振興財団 2019年度
非鉛かつ巨大圧電性をもつ他元素ドープAlN,GaN薄膜の探索と物性評価
[7] 公益財団法人 泉科学技術振興財団 2020~2021年度
他元素ドープAlN圧電膜/層構造基板を用いた次世代高周波弾性表面波フィルタの開発
[8]公益財団法人 旭硝子財団 2022~2023年度
「高周波動作・広帯域幅・高耐電力」を両立する巨大圧電性分極反転構造AlN系薄膜を用いた次世代弾性波フィルタの開発
[9] 公益財団法人 日本板硝子材料工学助成会 2024~2026年度
超多層分極反転AlN系膜/音響反射多層膜構造の創成と10GHz以上動作次世代BAW共振子・周波数フィルタの開発
[10] 一般財団法人 テレコム先端技術研究支援センターSCAT研究費助成 2024~2026年度
10GHz~ミリ波帯動作周波数フィルタに向けた分極反転多層膜BAW共振子の開発
その他:
[1] 2011年度日東学術振興財団海外派遣助成
c軸平行極性反転AIN多層膜共振子
[2] 2012年度公益財団法人NEC C&C財団国際会議論文発表者助成
Polarization inverted (0001)/(0001) AlN film resonators