山梨大鈴木雅視研究室 | 圧電薄膜・弾性波デバイス

RESEARCH

　鈴木研究室では弾性波デバイスのさらなる高機能化，応用範囲拡大を目指し，巨大な圧電性や特異な構造をもつ新たな高機能圧電薄膜の材料開発，シミュレーションによる弾性波デバイス設計，デバイス作製，評価を行っています。

　弾性波デバイスの主な産業応用先としては，移動端末用周波数フィルタ（特定の周波数をもつ送受信電波だけを取り出す）が挙げられます。

　現代社会の必需品である携帯電話・スマートフォンには，最大で10数個内蔵されており，1年間の生産数は数100億個に及び，情報通信を支える一つの柱となっています。また弾性波デバイスは他にもセンサ等様々な応用が提案されてます。

　弾性波デバイスには， Bulk Acoustic Wave (BAW) 薄膜共振子とSurface Acoustic Wave（SAW）共振子の２種類があり，用途や周波数帯によって使い分けがなされています。両デバイスとも圧電材料に交流電界を印可し，交流ひずみを発生させることで弾性波を励振させます。

　現在，デバイスには「電気的エネルギー⇔弾性波間の高い変換効率」，「高周波動作(高音速)」，「優れた温度安定性」等を両立することが求められています。

　これらの性能は，圧電材料がもつ

　　・圧電性の大きさ

　　・硬さ

　　・材料の内部構造(結晶方向や分極方向)

　　・薄膜を支える基板材料との組み合わせ

　　・「弾性波の振動方向」

といった様々なファクターが作用し，決定されます。